メーカー【YGK】一覧 ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（マニュアル） 型式 ：YPI-MX-XY／YPI-MX-Θ ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。 詳細はこちら ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（自動搬送） 型式 ：YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。 詳細はこちら ＤＦ／ＷＦ-１００ 小型・高機能光学式外観検査装置 顕微鏡目視検査の自動化に最適。 ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。 詳細はこちら ＹＰＩ－ＭＮ 小型・高機能ウェハ表面検査装置 表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。 小型省スペースながら最小検出粒径は0.15μmの高精度、使用形態に合わせて移動可能な小型表面検査装置です。 詳細はこちら ＹＰＩ－Ｎシリーズ（マニュアル） 型式 ：ＹＰＩ-Ｎ-ＸＹ／ＹＰＩ-Ｎ-Θ 透ウェハ表面検査装置 鏡面基板（シリコンウェハ等）の表面異物を高速にスキャン。 小型基板（2インチ、3インチ）から8インチウェハまで幅広く測定可能です。 詳細はこちら ＹＰＩ－Ｎシリーズ（自動搬送） 型式 ：ＹＰＩ-Ｎ-ＸＹＡ／ＹＰＩ-Ｎ-ΘＡ ウェハ表面検査装置 鏡面基板（シリコンウェハ等）の表面異物を高速にスキャン。 小型基板（2インチ、3インチ）から8インチウェハまで幅広く測定可能です。 詳細はこちら ＹＰＩ－ＭＸ－Θ ＤＣ 従来の表面パーティクル検査装置で検出できないSiC表面の潜傷を未検出する事なく測定。 詳細はこちら
