透明基板異物検査装置 SiC, ガラス、サファイアなどの透明基板に特化した異物検査装置 ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（マニュアル） 型式 ：YPI-MX-XY／YPI-MX-Θ ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。 詳細はこちら ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（自動搬送） 型式 ：YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。 詳細はこちら ＤＦ／ＷＦ-１００ 小型・高機能光学式外観検査装置 顕微鏡目視検査の自動化に最適。 ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。 詳細はこちら
