サービス

SERVICE

半導体製造を支える半導体製造装置・装置用精密部品の提供

ファーストゲートは半導体製造装置や装置用精密部品の輸出入商社として広く世界に革新技術を求め、お客様の求める製品を迅速にご提案いたします。
各種メーカーの製品を幅広く取り扱っております。半導体製造装置・装置用精密部品につきましてはお気軽にご相談ください。

再生サービスREFURBISHMENT

Core Systems社製半導体製造装置イオン注入装置の
部品再生サービス

ファーストゲートでは各メーカーのイオン注入装置に対応した再生サービスを行っております。
新品購入よりも格段に低価格でご案内出来るうえ、新品同様のクオリティで再生が可能です。
バリアン、SEN、AMATすべてのバッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、Finger、Restraint等の部品販売も承ります。

ディスク再生時期の判断
パーティクルの増加・ビーム衝撃による金属剥離あるいはSiコート膜剥離
・ディスク高速回転と遠心力によるエラストマー/ウェハ裏面境界面の磨耗
・エラストマー磨耗粉
・摺動部分の剥れ
元素レベルの汚染・スパッタリング効果によるAl、C等の脱離
・高加速電圧時のソース基材からの汚染(Mo、W、O、Ni、Al等)
エラストマーの劣化・冷熱の繰返しによるポリマー強度の劣化(特にカラ注入)
・表面の分子配向の変化(スティッキング発生)
対応装置
【Varian】XP、E1000、VIISion、Kestrel
【SEN/Axcelis】NV10(フルリングクランプ、2点クランプ、クランプレス)
GSD(初期Superdiskから300mmまでの全種、Classic、UHD、VSDを含むディスク)
【AMAT】9200、9500、xr、xrLEAP、Quantum Ⅱ/Ⅲ

再生前

再生後

ヒートシンク 再生前

ヒートシンク 再生後


オーバーホールOVERHAUL

White Knight社製
テフロンポンプオーバーホールサービス

White Knight社様ご提供 クラス100クリーンルーム写真

ファーストゲートでは、メーカーライセンスホルダーによるテフロンポンプのオーバーホールサービスを提供しています。
使用期間により必要な部品のみを交換する事で、無駄なコストの削減が可能で、オーバーホール後、新品同様に2年間の動作保証を致します。
(交換部品、製品により動作保証年数は異なります。)

また、オーバーホール以外にも、破損による交換部品のご依頼も対応可能です。
コスト削減、ライフサイクルの延長(環境パフォーマンスの向上)をお考えの方のご連絡をお待ちしております。


中古品関連USED ITEMS

半導体製造装置部品の
電子部品の修理・中古品紹介

弊社は半導体製造装置関連製品の輸入商社としての経験と共に、各半導体製造装置の不具合や故障による緊急対応への重要性も体験してきました。

そこで、修理や中古品についても弊社がこれまで培ってきた専門知識や独自のネットワークにより迅速で確実な修理対応、
中古品の紹介を請け負うことが可能です。

トラブル事例

装置内のPCボード、コントローラー、ディスプレイ、パワーサプライ、etcが壊れてしまった。

  • すぐに修理し稼働させたい。
  • 中古品ですぐ購入できるものはないか。
  • 予備部品として購入したいが古い装置で純正品がない。
修理実績リスト