半導体製造を支える
半導体製造装置・装置用精密部品の提供
ファーストゲートではお客様のニーズに合わせて革新的な製品を多種多様に取り扱っており、品質保持しつつ長期的コスト削減可能な再生サービスもご提供しております。また、弊社がこれまで培ってきた専門知識や独自のネットワークを駆使し市場では入手が難しい古い装置の基板などの修理サービスも提供しております。
サービスService
半導体製造を支える
再生サービスRefurbishment
Core Systems Disk Refurbishment製
半導体製造装置イオン注入装置の部品再生サービス
ファーストゲートでは各メーカーのイオン注入装置に対応した再生サービスを行っております。バリアン、SEN、AMATすべてのバッチ式インプラディスクのフル再生だけでなく、純正部品で発生するスティッキング・冷却能力問題に対する性能改善を目的とした特別エラストマーや、ウエハチッピング低減に特化したTorlon製パーツなど、ユーザー様のニーズに合わせたオリジナル仕様での再生もご提供しております。
弊社がご提供する再生サービスはこれまで日本国内でも30工場以上で再生実績があり、純正品と同等の高品質を短納期でご提供いたしますので、既存製品でお困りの方は是非一度ご相談ください。
ディスク再生時期の判断
| パーティクルの増加 |
|
|---|---|
| 元素レベルの汚染 |
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| エラストマーの劣化 |
|
対応装置
| Varian | XP、E1000、VIISion、Kestrel |
|---|---|
| SEN/Axceilis | NV10（フルリングクランプ、2点クランプ、クランプレス） GSD（初期Superdiskから300mmまでの全種、Classic、UHD、VSDを含むディスク） |
| AMAT | 9200、9500、xr、xrLEAP、Quantum Ⅱ/Ⅲ |
再生前
再生後
ヒートシンク 再生前
ヒートシンク 再生後
オーバーホールOverhaul
White Knight社製
テフロンポンプオーバーホールサービス
White Knight社様ご提供 クラス100クリーンルーム写真
White Knight社では経年劣化などにより摩耗した部品を交換しつつポンプ本体はリユース可能な自社ポンプオーバーホールサービスをご提供しております。
定期オーバーホールは安定した品質・長期的なコストダウンだけでなく、昨今多くの企業様が取り組まれている産業廃棄物量の削減にも役立つ環境配慮にも適したサービスとなります。※製品やオーバーホール内容によって動作保証年数は異なります。
また、オーバーホール以外にもメーカー認定ライセンスホルダーによる動作不良対応や修理のご依頼も承っております。現状でコスト削減、ライフサイクル延長（環境パフォーマンスの向上）等にお悩みの方は是非お問い合わせください。
中古品関連Used Items
半導体製造装置部品の
電子部品の修理・中古品紹介
弊社は半導体製造装置関連製品の輸入商社としての経験とともに、各半導体製造装置の不具合や故障による緊急対応への重要性も体験してきました。
そこで、修理や中古品についても弊社がこれまで培ってきた専門知識や独自のネットワークにより迅速で確実な修理対応、中古品の紹介を請け負うことが可能です。
トラブル事例
装置内のPCボード、コントローラー、ディスプレイ、パワーサプライ、etcが壊れてしまった。
- すぐに修理し稼働させたい。
- 中古品ですぐ購入できるものはないか。
- 予備部品として購入したいが古い装置で純正品がない。
Core Systems Disk Refurbishment
Core Systems Incorporated は、1990年に設立され、30年以上にわたり世界各国でイオン注入装置に特化したビジネスを展開するイオン注入装置関連サービスの専門企業です。
本社は米国カリフォルニア州サンノゼにあり、1970年代後半から今日までに製造された幅広いモデルのイオン注入装置のディスクやヒートシンクのフル再生サービスを提供しております。
標準的な再生サービスに加え、フィールドの問題や設計上の問題を積極的に評価してお客様へソリューションとアップグレードも提供しております。
2020年に世界最大のイオン注入ファウンドリーサービスのプロバイダーであるINNOViONの買収後同年にII-VI社とのM&Aにより規模を大幅に拡大し、2022年7月にCoherent社との合併を経て新たなスタートを切りました。
また、2022年11月にアジア市場へのサービス充実に向け台湾に再生サービスセンターを新設し、これまで以上に日本のお客様へのタイムリーかつ高品質なサービスをご提供致します。
White Knight
White Knight社は、米国ユタ州カマスにあり、当社の設立当初から20年以上にわたり代理店をしているポンプメーカーです。210度の高温薬液対応可能な製品や、様々なニーズに合わせて多種多様なモデルのラインナップとオプションをご用意しています。
材料から社内で一貫して製造していることから、サプライチェーンの納期遅延もなく、安定して供給出来ることも大きな特徴です。世界各国の半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーに標準採用されており、米国のシェアも約50%を誇ります。
