近年進歩の著しいシリコンウエハ、液晶パネルの量産化において歩留まりの向上が重要課題になっております。生産の工程での付着異物が不良の大きな原因になっており、付着粒子測定の重要性はますます高くなっております。これらのニーズにおこたえするため、基板異物検査装置『ＹＰＩシリーズ』を開発致しました。
本装置の開発には、大学、政府研究機関などで定評のあるエアロゾルゾンデ、パーティクルカウンターで培われた光散乱測定技術をはじめメカ制御技術やソフトウェア開発技術などの集積技術が生かされております。
本装置の最大の特徴は、小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。

【特徴】
ウェハ表面やガラス基板等の付着異物や潜傷を高速に検出測定を行い、その情報をマッピング表示します。

1.独自のスキャン方法採用により、従来にない高速、高精度、低価格を実現
2.小型で設置スペースをとりません
3.検出サイズにより測定時間を短縮可能
4.各種膜付きウェハやガラス等の各種基板の検査に対応
5.各シリーズ自動搬送にも対応

【測定依頼】
お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品をお預りし、ＹＰＩシリーズでサンプル測定も実施しております。
ご購入をご検討の場合でも、無償サンプル測定も実施しておりますので、ご連絡の上ご相談ください。