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DCM-10　リアルタイム濃度モニタ

DCM-10はインラインでリアルタイムに薬液濃度監視を行うことができる高精度屈折率計です。
スラリ濃度、スラリ内の過酸化水素濃度、高純度薬液濃度、有機溶剤濃度監視などの半導体製造に必要な液体濃度測定に使用可能です。
接液面はPFAなどのフッ素樹脂、サファイアで、高純度薬液の濃度測定に使用可能です。
センサは小型、軽量で、センサ本体から直接濃度などの信号出力が可能です。(アナログ及び、デジタル出力)

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