小型・高機能ウェハ表面検査装置
表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。
小型省スペースながら最小検出粒径は0.15μmの高精度、使用形態に合わせて移動可能な小型表面検査装置です。
オプション機能として、透明基板対応用表裏一体分離機能（裏面の影響を排除して表面の測定を実施）及び検出粒子を目視可能な顕微鏡搭載機を準備しました。
測定結果は、検出マップ・サイズ別粒子数及びヒスト、異物画像を付属のP/Cに表示・記録可能です。