ＹＰＩ－Ｎシリーズ（自動搬送）
型式 ：ＹＰＩ-Ｎ-ＸＹＡ／ＹＰＩ-Ｎ-ΘＡ
ウェハ表面検査装置
鏡面基板（シリコンウェハ等）の表面異物を高速にスキャン。
小型基板（2インチ、3インチ）から8インチウェハまで幅広く測定可能です。
仕様
| 仕様 | ・対応基板サイズ ：最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください) ・スキャン方式 ：Ｘ－Ｙスキャン／Θ－Ｘスキャン(螺旋スキャン) ・スループット ：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) ・ワーク設置 ：搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ) ・装置外形寸法 ：W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm ・本体重量 ：約800kg ・消費電力 ：約1.5kW(100V) ・検査対象基板 ：Siウェハ、各種膜付きウェハ ・最小検出感度 ：Siウェハ時、0.1μm |
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