小型・高機能光学式外観検査装置
顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。
一度に二つの面を検査できるので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の切り分けも可能です。