製品紹介

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YPI-MXシリーズ(自動搬送)

型式 :YPI-MX-XYA/YPI-MX-ΘA
ガラス基板表面検査装置/サファイア表面検査装置
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。

・検査対象基板 :石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板
エビ膜付きSiC基板等
・最小検出感度 :石英ガラス基板時、0.2μm

仕様

対応基板サイズ最大200mm×200mm
 (200mm以上の場合はご相談ください)
スキャン方式X-Yスキャン/Θ-Xスキャン(螺旋スキャン)
スループット200mmを約4分/Φ200mmを約3分
(高速スキャン対応可能)
ワーク設置搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ)
装置外形寸法W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm
本体重量約1,000kg
消費電力約1.5kW(100V)
メーカー名

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