コンパクトなアンプを内蔵したストレートチューブタイプの超音波流量計で、流路部には可動部またはメカニカルシールがなく、限られたスペースで、高い耐食性や高いクリーン度が要求される半導体装置等での利用に適した理想的な流量計です。また、最新のデジタル信号処理（DSP）技術を利用しており、高機能で優れた流量計測をご提供致します。