流量検出部をPFAストレートチューブで構成し、流路部の外周にリング状ピエゾ素子を配置。接液部はオールPFAで液留りのない高信頼センサーです。高速応答性と安定性に優れ、微少流量測定に適しております。
また、最新のデジタル信号処理（DSP)技術を利用し正確な流量測定を提供します。