高純度100％の石英で構成されていることから、イオン性不純物及びバクテリア等の汚染物質の発生をなくします。
特許を取得した冷却システムが、従来の製品と比較して長寿命を実現します。
ランプソケットなど必要な箇所にのみ、直接的に冷却風があたることでパージガス量を最小限に抑えると同時に、ヒーターの効率性を最大限に高めます。
接線流型が、ヒーター内部の薬液の流れにくい部分を除去します。