高速、高精度のモーターがピンチバルブ（スラリー用）やダイアフラムバルブ（化学薬品用）を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、高速かつ正確な制御が可能。
純水、腐食性の高い化学薬品、CMP研磨スラリー等の薬液制御機器をお探しの方にお勧め。

【特長】
半導体製造機器に使用されるすべての薬液に対応
被計測流体の特性による調整、設定が不要
デジタル信号処理技術により、一定量の気体を含んだ流体に対しても作動し、且つ高精度な測定が可能。