AutoValueとカルマン渦流量計、超音波式流量計を統合した小型ループコントローラーです。
システム統合により±2%以内での高再現性・高信頼性を提供します。
超純水、酸、溶剤等の定量的な混同・吐出・噴霧の制御が可能です。